位置修正装置、真空处理装置及位置修正方法

摘要

本发明系提供一种位置修正装置，系即使不使用搬运机械手臂，亦可解除位置偏移的技术。;该位置修正装置系使位于载置台55上的搬运对象物31至33旋转，在将误差角度α设为零之后，朝向斜向方向移动暂时放置部16，仅移动水平成分为误差距离L的程度，使搬运对象物31至33的中心O’位于载置台55的中心轴线58上，而载置于载置台55上。在决定刻痕的方向时，更使载置台55旋转期望的量。不需使用搬运机械手臂，而可解决误差角度α和误差距离L。