降低波前像差之方法及电脑程式产品

摘要

本发明揭示一种用于一微影程序的降低波前像差之方法，因而该降低系基于欲加以列印的选择图案以及用于曝光的选择照明模式。一微影装置之一投影系统的前波像差得到测量并藉由计算该投影系统之光学元件的调整以及将计算的调整应用于该投影系统而加以降低。调整之该计算系基于与如在曝露辐射敏感层期间出现的该投影系统之一光瞳中的辐射强度之一空间分布之强度相关的资讯，并且系限于相对较高辐射通量之投影透镜之光瞳区域中的像差。