| 摘要 |
<p>본 발명은 자립형 실리콘 필름의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 화학기상증착 반응기 안에서 단결정 또는 다결정 실리콘 기판 표면을 수소처리하여 다공성 실리콘 표면을 형성하는 단계; 상기 반응기에 실리콘 전구체를 공급하여 다공성 실리콘 표면에 실리콘 필름을 화학기상증착법에 의해 증착하는 단계; 및 상기 실리콘 필름을 기판 표면으로부터 박리하는 단계;를 포함하는 자립형 실리콘 필름의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 자립형 실리콘 필름의 제조방법에 의하면, 실리콘 필름 증착 전에 화학기상증착 반응기 내부에서 실리콘 기판을 표면처리 함으로써 단시간에 기판의 분리에 효과적인 다공성 실리콘 표면을 형성할 수 있어, 추가적인 다공성 실리콘 제조장치 없이도 실리콘 필름을 효과적으로 제조할 수 있으며, 제조된 실리콘 필름은 태양전지용 웨이퍼 등으로 유용하게 적용할 수 있다.</p> |
