| 摘要 |
<p>포커싱된 빔이 단축 및 장축을 형성하고 있는 기판 상에 증착된 필름과 익터액션하기 위해 빔을 포커싱하는 시스템 및 방법이 개시된다. 한 형태에서, 본 시스템은 빔이 필름에서 단축에 포커싱되었는지 판정하기 위해 이미지 평면 상의 필름으로부터 반사된 빛을 분석하기 위한 검출 시스템을 포함할 수 있다. 또 다른 형태에서, 성형 라인 빔과 인터액션하기 위해 (불완전하고, 평평하지 않은 표면을 가진) 필름을 포지셔닝하기 위한 시스템이 제공된다.</p> |
