| 摘要 |
인 함유량이 1 wtppm 이하이고, 잔부가 그 밖의 불가피적 불순물과 텅스텐인 것을 특징으로 하는 텅스텐 소결체 스퍼터링 타겟. 텅스텐의 이상 입자 성장과 타겟의 강도 저하에는 인의 함유가 큰 영향을 미치고, 특히 인이 1 ppm 을 초과하여 함유되는 경우에는 텅스텐 타겟에 이상 입자 성장한 결정 입자가 존재하게 되므로, 텅스텐에 함유되는 인을 유해한 불순물로서 강하게 인식함과 함께 가능한 한 적어지도록 관리하여, 텅스텐의 이상 입자 성장의 방지와 타겟의 제품 수율을 향상시키는 것을 과제로 한다. |
