| 摘要 |
<p>본 발명은 반송계의 에러 검출 장치 및 방법에 관한 것으로, 그 에러 검출 장치는 다수의 반사마크들이 양측에 나뉘어 형성되는 테스트기판; 반송계 상에서 반송되고 있는 상기 테스트기판의 양측에 광을 조사하기 위한 발광수단; 상기 테스트기판의 반사마크로부터 반사되는 반사광을 수광하기 위한 수광수단; 상기 수광수단을 통해 검출된 반사광의 시간차에 근거하여 상기 반송계의 에러를 검출하기 위한 제어수단; 및 상기 제어수단에 의해 검출된 상기 반송계의 에러를 디스플레이하기 위한 디스플레이수단을 포함한다.</p> |
