| 摘要 |
<p>사이즈가 작은 취성 재료 기판을 작업성 좋게 스크라이브할 수 있게 하는 것이다. 테이블(106) 상에 복수의 취성 재료 기판(107a∼107i)을 각각 위치 결정핀(109)에 의해 위치 결정하여 배치한다. 미리 취성 재료 기판마다 레시피 데이터 테이블을 보지(保持)해 둔다. 이 레시피 데이터 테이블에 기초하여 취성 재료 기판과 스크라이브 헤드를 상대적으로 이동시켜, 각 기판마다 내절(內切) 스크라이브 또는 외절(外切) 스크라이브를 행한다. 이렇게 하면 자동 운전으로 복수매의 스크라이브 작업을 일괄하여 행할 수 있다.</p> |
