| 摘要 |
<p>본 발명은 촉매를 이용한 LED 제조공정용 폐가스 처리장치를 개시한다. 내부에 반응챔버가 형성된 히팅챔버와, 상기 반응챔버의 외측에 배치되어 상기 반응챔버를 가열하는 제 1 히터와, 상기 반응챔버 내에 서로 소정간격 이격되어 다단으로 복수개가 배치되는 원형 형상의 제 1 배플보드와. 상기 히팅챔버의 입구부측에 연결되어 상기 반응챔버의 내부로 산소를 공급하는 산소공급부와, 상기 히팅챔버의 상기 반응챔버의 길이방향으로 연장되어 형성되는 적어도 하나의 공기공급관에 의해 상기 반응챔버에 공기를 공급하는 외기공급부와, 상기 히팅챔버의 출구부와 연결되며, 내부에 서로 소정간격 이격되어 복수개가 다단으로 배치되는 원형형상의 제 2 배플보드가 구비되는 필터부, 및 상기 필터부와 연결되며, 외주면을 따라 제 2 히터가 설치된 촉매부를 포함한다.</p> |
