用于单晶炉的导流筒

摘要

本实用新型公开了一种用于单晶炉的导流筒。其包括：外导流筒；内导流筒，与外导流筒适配设置并形成有容纳腔，容纳腔的径向尺寸自下而上逐渐减小；以及填充碳毡部，套设在容纳腔内，包括多个填充碳毡层，多个填充碳毡层的上端高度呈阶梯状变化以适应容纳腔的形状。相对于目前的导流筒，由于在容纳腔内套设有多层填充碳毡层，有效地减少了热场内的热量流失，加强了导流筒的保温效果，增加了纵向温度梯度，对晶棒的扭曲起到了良好的改善效果，保证了晶棒的正常生长。采用本实用新型的导流筒，能量的利用率提高了约1%，运行功率降低了约2KW，大大降低了设备用电量，节约了生产成本。

主权项

一种用于单晶炉的导流筒，其特征在于，包括：外导流筒（10）；内导流筒（20），与所述外导流筒（10）适配设置并形成有容纳腔，所述容纳腔的径向尺寸自下而上逐渐减小；以及填充碳毡部（30），套设在所述容纳腔内，包括多个填充碳毡层，多个所述填充碳毡层的上端高度呈阶梯状变化以适应所述容纳腔的形状。