发明名称 Verfahren zum Betriebe einer Vorrichtung zur Gewinnung reinsten Halbleitermaterials, insbesondere Siliziums
摘要
申请公布号 DE1141852(B) 申请公布日期 1962.12.27
申请号 DE1961S072060 申请日期 1961.01.14
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REUSCHEL DR. PHIL. NAT. KONRAD;KERSTING ARNO
分类号 C01B31/36;C01B33/035;C22B41/00;C23C8/00;C23C16/00;C23C16/22;C23C16/44;C23C16/46;C30B25/14;H01L21/00 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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