| 发明名称 | 快速热处理设备及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种快速热处理设备，包括工艺腔和承片室，承片室内有载片台，该载片台采用耐高温材料制成。本发明还公开了使用上述设备进行快速热处理的方法，包括步骤：1)将晶圆片从承片室传至工艺腔，进行高温退火处理；2)将晶圆片从工艺腔直接传回承片室，并放置在载片台上；3)在承片室内抽放氮气2～3次；4)打开承片室，取出晶圆片。本发明通过用耐高温材料制作载片台，使经过高温退火处理后的晶圆片能够直接传回承片室，在延长的N2抽放时间内自然降温，从而突破了RTP设备原有的作业方式，减少了每批次产品的RTP作业时间，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103123905A | 申请公布日期 | 2013.05.29 |
| 申请号 | CN201110366757.9 | 申请日期 | 2011.11.18 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 郑刚;华伟;胡浩 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 刘昌荣 |
| 主权项 | 一种快速热处理设备，包括工艺腔和承片室，承片室内有载片台，其特征在于，所述载片台采用耐高温材料制成。 | ||
| 地址 | 201206 上海市浦东新区川桥路1188号 | ||