一种提高深紫外激光器稳定性的装置

摘要

本发明涉及一种提高深紫外激光器输出稳定性的装置，包括深紫外变频晶体器件、金属器件外壳、冷却介质和控温机；深紫外变频晶体器件由深紫外变频晶体夹在两块直角棱镜的中间，通过一金属器件外壳使三者结合在一起组成，直角棱镜按深紫外变频晶体的匹配角以及深紫外变频晶体和直角棱镜材料的折射率切割，入射光垂直于一直角棱镜的直角端面入射，入射到深紫外变频晶体上时满足相位匹配条件；在金属器件外壳的上下壳壁内部分别设有空心流道，空心流道内装有冷却介质，空心流道内的冷却介质与控温机相连通，控温机用于控制使深紫外变频晶体的工作温度保持不变；其装置结构简单、性能稳定，更具实用化。

主权项

一种提高深紫外激光器输出稳定性的装置，包括：深紫外变频晶体器件、金属器件外壳、冷却介质和控温机；所述的深紫外变频晶体器件由一块深紫外变频晶体夹在两块直角棱镜的中间，通过一金属器件外壳使三者结合在一起组成，其中直角棱镜按深紫外变频晶体的匹配角以及深紫外变频晶体和直角棱镜材料的折射率切割，入射光垂直于直角棱镜的直角端面入射，入射到深紫外变频晶体上时满足相位匹配条件；其特征在于，在所述的金属器件外壳的上下壳壁内部分别设有空心流道，所述空心流道内装有冷却介质，所述空心流道内的冷却介质与所述控温机相连接，所述控温机用于控制所述深紫外变频晶体的工作温度保持不变。