Method of manufacturing an element having a reflective substrate and an anti-reflective coating,申请号EP20050006058-传众专利搜索

发明名称	Method of manufacturing an element having a reflective substrate and an anti-reflective coating
摘要
申请公布号	EP1580816(B1)	申请公布日期	2013.05.29
申请号	EP20050006058	申请日期	2005.03.19
申请人	KARLSRUHER INSTITUT FUER TECHNOLOGIE	发明人	WALHEIM, STEFAN, DR.;HEDDERICH, REGINE, DR.;SCHIMMEL, THOMAS, PROF. DR.
分类号	G02B1/11;G09F13/16;H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/18	主分类号	G02B1/11
代理机构		代理人
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