发明名称 |
Surface measurement instrument and method |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2464509(B) |
申请公布日期 |
2013.05.29 |
申请号 |
GB20080019087 |
申请日期 |
2008.10.17 |
申请人 |
TAYLOR HOBSON LIMITED |
发明人 |
IVOR MCDONNELL;PAUL JAMES SCOTT;DANIEL IAN MANSFIELD |
分类号 |
G01B21/00;G01B5/00;G01B5/24;G01B5/25;G01B5/252;G01B21/22;G01B21/24 |
主分类号 |
G01B21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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