发明名称 Surface measurement instrument and method
摘要
申请公布号 GB2464509(B) 申请公布日期 2013.05.29
申请号 GB20080019087 申请日期 2008.10.17
申请人 TAYLOR HOBSON LIMITED 发明人 IVOR MCDONNELL;PAUL JAMES SCOTT;DANIEL IAN MANSFIELD
分类号 G01B21/00;G01B5/00;G01B5/24;G01B5/25;G01B5/252;G01B21/22;G01B21/24 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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