用于泵的操作的系统和方法

摘要

本发明公开了一种用于操作泵的系统和方法。在操作的各个阶段期间，可以将在泵中读取的压力与设定值或分布图相比较，以调节电机速度，从而控制压力。根据其它实施例，可以建立泵的一个或更多个参数的基线分布图。然后，可以通过在泵的随后操作期间记录相同组的参数的一个或更多个值来形成操作分布图。然后，可以在一个或更多个点或成组的点处对基线分布图和操作分布图的值进行比较。

主权项

一种多级泵，该多级泵包括：进给泵，该进给泵包括：进给腔；在所述进给腔中的进给隔膜；进给活塞，该进给活塞与所述进给隔膜相接触，以使所述进给隔膜移位；进给丝杠，该进给丝杠与所述进给活塞联接；进给电机，该进给电机与所述进给丝杠联接，以将旋转传递到所述进给丝杠，从而引起所述进给活塞移动；过滤器，其中，该过滤器与所述进给腔流体连通；隔离阀，该隔离阀位于所述进给泵和所述过滤器之间，以允许或限制流体从所述进给腔流动到所述过滤器；分配泵，该分配泵与所述过滤器流体连通，该分配泵包括：分配腔；在所述分配腔中的分配隔膜；分配活塞，该分配活塞与所述分配隔膜相接触，以使所述分配隔膜移位；分配丝杠，该分配丝杠与所述分配活塞联接，以使所述分配腔中的所述分配活塞移位；分配电机，该分配电机与所述分配丝杠联接，以将旋转传递到所述分配丝杠，从而引起所述分配活塞移动；阻隔阀，该阻隔阀位于所述过滤器和所述分配泵之间，以允许或限制流体从所述过滤器流动到所述分配腔；压力传感器，该压力传感器被暴露于所述分配腔，以测量所述分配腔中的流体压力；以及控制器，该控制器与所述压力传感器、所述进给电机和所述分配电机连接，在所述隔离阀和所述阻隔阀都打开的一过滤阶段期间，该 控制器可操作，以便：接收来自所述压力传感器的压力测量值；在压力测量值显示所述分配腔中的流体压力已经初始达到设定值时，引导所述分配电机以大致恒定的速率操作，以使所述分配活塞退回；以及对于随后的压力测量值，如果所述随后的压力测量值显示所述分配腔中的流体压力高于所述设定值，则引导所述进给电机以降低的速度操作，如果所述随后的压力测量值低于设定值，则引导所述进给电机以增大的速度操作；其中，所述多级泵适用于半导体生产工艺流体。