单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉。该单晶炉具有加热器，还包括设置在加热器下方的反射部件，其中反射部件为金属钼片。通过在单晶炉内的加热器的下方位置上设置金属钼片作为反射部件，利用金属钼片优良的反射性能与保温性能，将加热器所散发出的部分热能通过镜面反射原理，折射到石英坩埚内部，同时利用其良好的保温性能将加热区域与炉底区域隔离开，增强炉底保温性能、降低运行功率与减少热场石墨件消耗，从而达到减少热损失率以及单晶棒氧沉积的目的。

主权项

一种单晶炉，具有加热器（30），其特征在于，还包括设置在所述加热器（30）下方的反射部件（20），所述反射部件（20）为金属钼片（21）。