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<p>패턴 형상 및 단면 형상이 양호한 하프톤막 타입의 그레이톤 마스크 및 그 제조 방법을 제공한다. 차광부, 투광부 및 반투광부로 이루어지는 패턴을 가지는 그레이톤 마스크의 제조 방법으로서, 투명 기판(21)상에 형성된 차광막(22)상에 제1 레지스트 패턴(23a)을 형성하는 공정과, 이 레지스트 패턴을 마스크로 하여, 차광막을 에칭하여 차광막 패턴(22a)을 형성하는 공정과, 차광막 패턴(22a) 상에 반투광막(24)을 형성하고, 그 위에 제2 레지스트 패턴(23b)을 형성하는 공정과, 이 레지스트 패턴을 마스크로 하여, 반투광막을 에칭하여 반투광막 패턴(24a)을 형성하는 공정을 가지고, 반투광막의 재료는, 차광막의 재료보다도 반투광막을 에칭하기 위한 식각액에 대하여 에칭비가 큰 재료이다. 예를 들면 차광막은 Cr을 주성분으로 하는 재료, 반투광막은 Cr과 N을 포함하는 재료이다.</p> |
