Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Defekten von mono- oder polykristallinen Siliziumscheiben

摘要

Vorrichtung zur Detektion von Defekten in mono- und polykristallinen Siliziumscheiben (1), wie in Solarzellen oder Siliziumwafern, unter Nutzung mindestens einer steuerbaren Krafterzeugungseinrichtung (2), die über eine Ansteuerelektronik (7) mit rechentechnischen Komponenten (5), in die programmtechnische Komponenten (6) implementiert sind, verbunden ist und Auflage der Siliziumscheibe (1) auf mehrere Halter (3), zur Biegebeanspruchung, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Grundgestell (8) eine oder mehrere Krafterzeugungseinrichtungen (2) mit je einem linear beweglichen Stößel (9) und einem oder mehreren Haltern (3) mit je einem Widerlager (10) und/oder mindestens einem Stößelpaar (9Au, 9Ao) angeordnet sind, die Siliziumscheibe (1) zwischen mindestens einem linear beweglichen Stößel (9) und mindestens drei Widerlagern (10) und/oder zwischen mindestens einem Stößelpaar (9Au, 9Ao), bestehend aus einem unteren Stößel (9Au) einer unter der Siliziumscheibe (1) angeordneten Krafterzeugungseinrichtung (2) auf der einen Seite und einem Stößel (9Ao) einer über der Siliziumscheibe (1) entgegengesetzt angeordneten Krafterzeugungseinrichtung (2) gehalten wird, wobei an mindestens einem Stößel (9) oder an einem Stößel (9) des Stößelpaares (9Au, 9Ao) eine Messfläche (11) angeordnet ist und am Grundgestell (8) eine oder mehrere auf die Messfläche (11) gerichtete Wegmesseinrichtungen (4) so befestigt sind, dass die Durchbiegung der Siliziumscheibe (1) messtechnisch erfassbar und auswertbar ist.