| 摘要 |
<p>반사면을 통과한 광속에 발생하는 편광 성분에 의한 상대적인 위치 차이 등의 영향을 실질적으로 받는 일 없이, 피검면의 면 위치를 고정밀도로 검출할 수 있는 면 위치 검출 장치. 투사계는 제1 반사면(7b, 7c)을 갖는 투사측 프리즘 부재(7)를 구비하고 있다. 수광계는 투사측 프리즘 부재에 대응하도록 배치된 제2 반사면(8b, 8c)을 갖는 수광측 프리즘 부재(8)를 구비하고 있다. 제1 반사면 및 제2 반사면을 통과한 광속의 편광 성분에 의한 상대적인 위치 차이를 보상하기 위한 위치 차이 보상 부재를 추가로 구비하고 있다.</p> |
