| 发明名称 |
Tracking type laser interferometer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2244055(B1) |
申请公布日期 |
2013.05.29 |
| 申请号 |
EP20100159846 |
申请日期 |
2010.04.14 |
| 申请人 |
MITUTOYO CORPORATION |
发明人 |
TANIMURA, YOSHIHISA;NARA, MASAYUKI |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G01B11/14;G01S17/66 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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