| 摘要 |
Elektrodenanordnung zum Einsatz in einem CVD-Reaktor/Konverter, die folgendes aufweist: ein Schaftteil aus elektrisch leitendem Material; ein Kopfteil aus elektrisch leitendem Material, das elektrisch leitend mit dem Schaftteil verbunden ist und eine axial in Richtung zum Schaftteil weisende Dichtfläche aufweist; und eine Vorspanneinheit, mit wenigstens einem elastischen Element und einer Stelleinheit, die mit dem Schaftteil koppelbar ist, wobei die Stelleinheit Stellmittel aufweist, die geeignet sind das elastische Element derart zwischen zwei Gegenlagern zusammenzudrücken, dass eine Rückstellkraft des elastischen Elements in Axialrichtung des Schaftteils wirkt, um die axial weisende Dichtfläche am Kopfteil gegen eine Gegendichtfläche vorzuspannen.
|
