发明名称 一种WO<sub>3</sub>-TiO<sub>2</sub>复合靶材及其制备方法
摘要 本发明公开了一种WO3-TiO2复合靶材的制备方法。其特征是采用低成本的常压烧结工艺,不使用任何烧结助剂的条件下,制备出纯度高于99.9%,相对密度大于95%,抗弯强度大于60Mpa的WO3-TiO2复合靶材,该靶材特别适合用于制备WO3-TiO2复合薄膜,在光催化净化,气体传感,光电转换等领域有广泛的应用。
申请公布号 CN103121838A 申请公布日期 2013.05.29
申请号 CN201110372849.8 申请日期 2011.11.21
申请人 深圳大学 发明人 杨海涛;尚福亮;刘存奇;高玲;彭程万
分类号 C04B35/46(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I 主分类号 C04B35/46(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种致密的WO3‑TiO2复合陶瓷靶材,其特征不添加任何烧结助剂而使该靶材烧结致密化,相对密度在95%以上。
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