发明名称 | 一种WO<sub>3</sub>-TiO<sub>2</sub>复合靶材及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种WO3-TiO2复合靶材的制备方法。其特征是采用低成本的常压烧结工艺,不使用任何烧结助剂的条件下,制备出纯度高于99.9%,相对密度大于95%,抗弯强度大于60Mpa的WO3-TiO2复合靶材,该靶材特别适合用于制备WO3-TiO2复合薄膜,在光催化净化,气体传感,光电转换等领域有广泛的应用。 | ||
申请公布号 | CN103121838A | 申请公布日期 | 2013.05.29 |
申请号 | CN201110372849.8 | 申请日期 | 2011.11.21 |
申请人 | 深圳大学 | 发明人 | 杨海涛;尚福亮;刘存奇;高玲;彭程万 |
分类号 | C04B35/46(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/46(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种致密的WO3‑TiO2复合陶瓷靶材,其特征不添加任何烧结助剂而使该靶材烧结致密化,相对密度在95%以上。 | ||
地址 | 518060 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |