垂直式热处理炉结构

摘要

一种垂直式热处理炉结构，包括：一外炉体、一内炉体、一加热机构、一供气机构，及一控制机构，通过控制机构控制进气量可有效使得，内炉体外侧流动空间中第一压力(P1)，始终大于内炉体内侧反应空间中第二压力(P2)。通过此设计可使得反应气体流速可加快，增快薄膜反应速率，且提升膜质均匀度，同时也可提升降温速率，增加操作安全性。

主权项

一种垂直式热处理炉结构，包括：一外炉体，具有一外壁及一内壁所形成的第一容置空间，并具有一第一侧边及相对该第一侧边的一第二侧边，且于该第一侧边形成该第一容置空间的开口，而该第二侧边为一个封闭面；一个内炉体，是间隔地固设于该外炉体的第一容置空间中，该内炉体有一外侧壁及一内侧壁所形成的第二容置空间，并具有一第三侧边及相对该第三侧边的一第四侧边，部分该第三侧边由一个下封闭面与该第一侧边连接，使得第三侧边形成一个第二容置空间的开口，而该第四侧边为一个封闭面，其中，该内炉体的外侧壁与该外炉体的内壁间形成一个气体流动空间，且于该内炉体的内侧壁中形成一个反应空间；一闸门，具有外表面及内表面，通过该内表面与该第三侧边的该第二容置空间的开口接触后，使得该气体流动空间与该反应空间各自形成独立的空间。