用于高速精确激光微调的方法和系统、在该方法和系统中使用的扫描透镜系统以及由此制造的电气装置

摘要

提供一种方法、系统和扫描透镜系统，用于基于激光高速地、精确地激光微调至少一个电气元件。该方法包括以重复频率产生具有一个或多个激光脉冲的脉冲激光输出。每一激光脉冲具有脉冲能量、处于激光波长范围内的激光波长和脉冲宽度。该方法进一步包括用一个或多个被聚焦到至少一个光点上的激光脉冲选择性地照射该至少一个电气元件，该至少一个光点沿一个方向具有不一致的强度轮廓和短至大约6微米至大约15微米的光点直径，从而使一个或多个激光脉冲选择性地从该至少一个元件上去除材料并对该至少一个元件进行激光微调，同时在该至少一个元件内避免实质的微裂纹。该波长足够短，以产生期望的小光点尺寸的短波益处、紧密公差和高的吸收作用，但不会短到引起微裂纹。

主权项

一种用于高速地、基于激光地、精确地激光微调至少一个电气元件的方法，该至少一个电气元件具有至少一个可测量特性，并支撑在衬底上，该方法包括：以重复频率产生具有一个或多个激光脉冲的脉冲激光输出，每一激光脉冲具有脉冲能量、处于0.5微米至0.7微米的范围内的激光波长和脉冲宽度；以及用被聚焦成至少一个光点的所述一个或多个激光脉冲选择性地照射该至少一个电气元件，该至少一个光点沿一个方向具有不一致的强度轮廓和小于15微米的光点直径，从而使具有所述波长、能量、脉冲宽度和光点直径的所述一个或多个激光脉冲选择性地从该至少一个元件上切削材料并对该至少一个元件进行激光微调，同时在该至少一个元件内避免实质的微裂纹，该波长足够短，以产生期望的小光点尺寸的短波益处、紧密公差和高的吸收作用，但不会短到引起微裂纹。