| 发明名称 | V型手臂校正工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于：所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。本实用新型将V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的类椭圆形洞中，同时通过一个标准尺寸的V型手臂校正工具实现更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置。 | ||
| 申请公布号 | CN202957222U | 申请公布日期 | 2013.05.29 |
| 申请号 | CN201220520607.9 | 申请日期 | 2012.10.11 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 陈中林;刘群超;陈晓;单易飞 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于：所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||