一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪

摘要

本专利公开了一种带闭环控制结构的法布里-珀罗干涉仪，其结构包括应变片，压电陶瓷，机械腔体，腔镜，其特征为机械腔体采用热稳定材料铟钢做成环形腔体，中间径向剖开，放置环形压电陶瓷，环形压电陶瓷采用HPSt1000/35-25/7压电陶瓷，其行程为12um，长度26mm，环形腔体和压电陶瓷之间用胶粘合，在环形压电陶瓷的圆柱面上贴应变片，应变片采用电阻式应变片；腔镜安装在环形腔体两端。内部的腔长扫描压电陶瓷上附着了应变片作为反馈，通过反馈信号对压电陶瓷进行闭环控制，这样可以改善压电陶瓷的非线性及磁滞效应对FP腔的影响，提高系统精度。

主权项

一种带闭环控制结构的法布里‑珀罗干涉仪，它由应变片（A），压电陶瓷（B），机械腔体（C），腔镜（D）组成，其特征为：机械腔体（C）采用热稳定材料铟钢做成环形腔体，中间径向剖开，放置环形压电陶瓷（B），环形压电陶瓷（B）采用HPSt 1000/35‑25/7压电陶瓷，其行程为12um，长度26mm，环形腔体和压电陶瓷之间用胶粘合，在环形压电陶瓷（B）的圆柱面上贴应变片（A），应变片（A）采用电阻式应变片；腔镜（D）安装在环形腔体两端。