Positioniereinrichtung für ein Teilchenstrahlgerät

摘要

Positioniereinrichtung für ein Teilchenstrahlgerät (1), mit–mindestens einem positionierbaren Halter (14) zum Halten eines Objekts (13),–mindestens einer Lichtquelle (15, 21) zur Erzeugung eines Lichtstrahls, der in Richtung des positionierbaren Halters (14) führbar ist,–mindestens einem Detektor (16) zur Detektion des Lichtstrahls,–mindestens einem Einkoppelbereich (8, 8', 23, 24), an dem Teilchen eines Teilchenstrahls derart einkoppelbar sind, dass sie in Richtung des positionierbaren Halters (14) führbar sind, wobei–der Lichtstrahl den Einkoppelbereich (8, 8', 23, 24) durchläuft,–der Einkoppelbereich (8, 8', 23, 24) eine zum Halter (14) gerichtete Austrittseite für den Lichtstrahl und den Teilchenstrahl aufweist,–der Detektor (16, 26) ein Detektorelement (16, 26) aufweist, welches in einem Bereich zwischen der Austrittseite und dem Halter (14) angeordnet ist,–die Lichtquelle (15, 20, 20', 21) ein Lichtquellenelement (15, 20, 20', 21) aufweist, welches in einem Bereich angeordnet ist, der sich ausgehend von der Austrittseite von dem Halter (14) weg erstreckt, und wobei–der Lichtstrahl sowohl zur Positionierung des positionierbaren Halters (14) als auch zur Reinigung eines auf dem positionierbaren Halter (14) anordbaren Objekts (13) vorgesehen ist.