| 发明名称 | 热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。 | ||
| 申请公布号 | CN103123443A | 申请公布日期 | 2013.05.29 |
| 申请号 | CN201310051617.1 | 申请日期 | 2009.10.13 |
| 申请人 | 旭化成株式会社 | 发明人 | 三田村哲理;古谷一之;中川义清;前田雅俊 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G11B7/26(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 徐申民;李晓 |
| 主权项 | 一种热反应型抗蚀剂材料，其用于使用了氟碳系气体的干蚀刻中，其特征在于，包含分解性氧化物材料，且通过分解形成图案，所述分解性氧化物是CuO、Co3O4、MnO2、Mn2O3、CrO3、BaO2中的任意一个。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府大阪市北区中之岛三丁目3番23号 | ||