发明名称 |
等离子体设备和系统 |
摘要 |
一种等离子体设备,包括第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道和布置在所述等离子体流动通道的至少一部分之间的主气体入口。第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。等离子体设备也包括第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道、以及布置在等离子体流动通道和电极的至少一部分之间的主气体入口,第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。 |
申请公布号 |
CN101605663B |
申请公布日期 |
2013.05.29 |
申请号 |
CN200780043771.7 |
申请日期 |
2007.11.27 |
申请人 |
弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 |
发明人 |
弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 |
分类号 |
H05H1/44(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/44(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
张群峰;曹若 |
主权项 |
一种等离子体设备,包括:第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头,它们每个都包括电极、等离子体流动通道、以及布置在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口,所述第一阳极等离子体头和所述第一阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度;以及第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头,它们每个都包括电极、等离子体流动通道、以及布置在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口,所述第二阳极等离子体头和所述第二阴极等离子体头布置为相对彼此成一角度;所述第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头布置在第一平面中,所述第二阳极等离子体头和所述第二阴极等离子体头布置在第二平面中,所述第一和第二平面布置成彼此之间的角度在50度到90度之间。 |
地址 |
美国新罕布什尔州 |