| 摘要 |
<p>본 발명은 콧수염 형상체가 발생해도, 성장하기 전에 콧수염 형상체가 벗겨져 떨어지게 할 수 있는 웨이퍼 노치부(wafer notch portion)의 연마 패드를 제공하는 것을 과제로 하며, 연마 가공을 진행하는 동안에, 노치부(22)에 의해 연마 패드(1)의 외주연부(11)의 섬유의 일부가 깎여서 외주연부(11)에 보풀이 일고, 콧수염이 자란 듯한 콧수염 형상체(16, 17)가 만들어지기 시작하며, 콧수염 형상체(16, 17)가 연마 패드(1)의 중심 측으로 향하여 생기기 시작하면, 콧수염 형상체(16, 17)의 근원이 절입부(切入部)(145, 155)에 도달하여 콧수염 형상체(16, 17)는 연마 패드(1)로부터 벗겨져 떨어진다.</p> |
