POST Cu CHEMICAL MECHANICAL POLISHING CLEANING SOLUTION

摘要

구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액이 개시된다. 구리 화학적 기계적 연마 후 세정 공정용 세정액은 에틸렌디아민사초산, 5-아미노테트라졸 및 염기성 화합물로 이루어진 pH 조절제를 포함한다.