| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 기판합착장치는 챔버 및 상기 챔버 내부에 설치되며 상부 기판을 상부점착부재로 점착하고, 상기 상부 기판을 상기 상부점착부재에서 분리하기 위하여 자력에 의해 출몰하는 푸셔(PUSHER)를 구비하는 상부점착척을 가지는 상부 정반 및 상기 챔버 내부에 설치되어 상기 상부 정반과 마주하고, 상기 상부 기판과 합착되는 하부기판을 점착하는 하부점착부재를 구비하는 하부점착척을 가지는 하부 정반 및 상기 하부 기판을 상기 하부점착부재에 안착 및 분리하기 위하여 상기 하부 정반에서 승하강하는 리프트 핀 및 상기 리프트 핀을 승하강시키는 리프트 핀 구동부를 포함한다.</p> |
