| 摘要 |
<p>본 발명은 습식 세정 장치의 처리조 내에 구비되어 이송된 기판이 안착되는 기판 가이드에 대해 기판을 이송시키는 이송 로봇의 위치를 교정하기 위한 반도체 습식 세정 장치용 기판 정렬 키트 및 이를 이용한 정렬 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 정렬 키트는 이송 로봇의 로봇암 클램퍼에 파지되고 투명한 로봇측 게이지 플레이트를 갖는 로봇측 게이지와, 기판을 세워 고정시키기 위한 기판 가이드에 설치되고 가이드측 게이지 플레이트를 갖는 가이드측 게이지를 포함하고, 상기 로봇측 및 가이드측 게이지 플레이트에는 서로 대응하는 로봇측 및 가이드측 정렬 표시부가 각각 형성된다.</p> |
