OPTICAL MESUREMENT APPARATUS

摘要

본 발명은 측정시편이 고정되는 지지체, 상기 측정시편 상에 제1 광을 조사하는 제1 조사기, 상기 제1 광과 파장이 다른 제2 광을 상기 측정시편 상에 조사하는 제2 조사기 및 상기 제1 광의 반사광과 상기 제2 광의 반사광을 수광하여, 상기 측정시편에 대한 정보를 측정하는 검출기를 포함하는 광학 측정장치를 포함한다.