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发明名称 RUTHENIUM-CONTAINING PRECURSORS FOR CVD AND ALD
摘要
申请公布号 KR20130055608(A) 申请公布日期 2013.05.28
申请号 KR20127030047 申请日期 2011.04.12
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 GATINEAU SATOKO
分类号 C23C16/40;C23C16/44 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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