| 发明名称 |
Multiple frequency atomic force microscopy |
| 摘要 |
An apparatus and technique for extracting information carried in higher eigenmodes or harmonics of an oscillating cantilever or other oscillating sensors in atomic force microscopy and related MEMs work is described.
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| 申请公布号 |
US8448501(B2) |
申请公布日期 |
2013.05.28 |
| 申请号 |
US20090582045 |
申请日期 |
2009.10.20 |
| 申请人 |
PROKSCH ROGER B;OXFORD INSTRUMENTS PLC;OXFORD INSTRUMENTS AFM INC. |
发明人 |
PROKSCH ROGER B |
| 分类号 |
G01B5/28;G01Q10/00;G01Q60/32 |
主分类号 |
G01B5/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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