| 摘要 |
<p>본 발명은 6면체 형상을 갖고, 종횡비가 1 - 5인 1차 입자를 갖는 알루미늄 산화물 입자에 관한 것이다. 알루미늄 산화물 입자의 평균 1차 입자의 지름은 0.01 - 0.6 ㎛인 것이 바람직하다. 바람직하게는 알루미늄 산화물 입자는 5 - 70 %의 α전환비율을 갖는다. 더욱이, 알루미늄 산화물 입자의 평균 2차 입자 지름은 0.01 - 2 ㎛인 것이 바람직하고, 알루미늄 산화물 입자의 90% 입자 지름을 알루미늄 산화물 입자의 10% 입자 지름으로 나눈 값이 3 이하인 것이 바람직하다. 알루미늄 산화물 입자는 예를 들어, 반도체 장치 기판, 하드 디스크 기판 또는 디스플레이용 기판을 연마하기 위한 연마용 입자로 사용된다.</p> |
