| 摘要 |
고 용량성 RF MEMS 스위치들을 제공하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 일 실시예에서, 본 발명은 마이크로 전자기계식 스위치 조립체(micro-electro-mechanical switch assembly)로서, 기판, 상기 기판의 일부분 상에 배치된 전극, 상기 전극의 적어도 일부분 상에 배치된 유전체층, 상기 유전체층의 적어도 일부분 상에 배치된 금속층, 및 상기 기판 베이스 상의 이격된 위치들에서 지지되는 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 가요성 멤브레인을 포함하고, 상기 가요성 멤브레인은, 상기 가요성 멤브레인과 상기 전극 사이에 인가된 미리 선택된 스위칭 전압에 응답하여 디폴트 위치로부터 액츄에이트된 위치로 이동하도록 구성되고, 상기 액츄에이트된 위치에서, 상기 가요성 멤브레인은 상기 금속층과 전기적으로 접촉하는 스위치 조립체에 관한 것이다. |
