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发明名称
Switching mode power supply for semiconductor production apparatus
摘要
<p>이와 같은 본 발명의 반도체 장비용 스위칭 모드 전원 장치는 반도체 장비에 인가되는 전압을 항상 목표 전압과 동일하게 자동으로 유지할 수 있다.</p>
申请公布号
KR101267843(B1)
申请公布日期
2013.05.27
申请号
KR20080007438
申请日期
2008.01.24
申请人
发明人
分类号
H02M3/28
主分类号
H02M3/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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