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<p>이상 발생 시의 반송 기구의 상태를 용이하게 파악할 수 있고, 이상 요인을 용이하게 판단할 수 있도록 한다.기판을 반송하는 반송 기구의 각 축에 구비된 적어도 하나 이상의 센서; 상기 센서가 검지한 검지 데이터를 수신하는 반송 제어 모듈; 상기 반송 제어 모듈을 제어하는 반송계 컨트롤러; 및 상기 검지 데이터에 기초하여 상기 반송 기구의 상태를 표시하는 표시부를 적어도 구비한 조작부; 로 적어도 구성된 기판 처리 장치로서, 상기 반송 제어 모듈은, 상기 반송 기구의 각 축에 구비된 상기 센서가 검지한 검지 데이터를 격납하는 격납 수단을 포함하고, 상기 반송 기구를 동작시키면서 상기 격납 수단에 상기 반송 기구의 동작 개시로부터 동작 종료 정지할 때까지의 상기 검지 데이터를 격납하고, 상기 반송 기구가 동작 종료 정지했을 때, 상기 센서가 검출한 검출 결과 데이터가 동작 OK라면 상기 격납 수단 내의 상기 검지 데이터를 삭제하고, 상기 센서가 검출한 검출 결과 데이터가 동작 NG라면 상기 격납 수단 내의 상기 검지 데이터를 저장하도록 구성된다.</p> |
