摘要 |
<p>결함 검출 방법에 따르면, 피검체와 대응하는 원본 샘플의 삼차원 영상 데이터를 획득한다. 상기 피검체로 제 1 방향을 따라 방사선을 조사하여 제 1 이차원 영상 데이터를 획득한다. 상기 피검체로 제 2 방향을 따라 방사선을 조사하여 제 2 이차원 영상 데이터를 획득한다. 상기 삼차원 영상 데이터를 상기 제 1 및 제 2 이차원 영상 데이터들에 정합(registration)시켜서, 상기 피검체의 삼차원 위치를 계산한다. 계산된 상기 피검체의 삼차원 위치에 원본 샘플의 삼차원 영상 데이터를 가상으로 위치하여 놓고 가상의 방사선으로 생성한 제 1 및 제 2 영상 데이터와 상기 피검체의 실제 이차원 방사선 영상 데이터들을 비교함으로써 결함을 검출한다. 따라서, 피검체 내의 결함의 유무 및 그 위치를 정확하게 파악할 수가 있다.</p> |