发明名称 Funktionalisierte Festkörperoberflächen von Metallen, Halbleitern und Isolatoren mit Nanostrukturen
摘要 Die Erfindung betrifft die kontrolliert einstellbare Umverteilung von Fremdatomen während der thermischen Behandlung von Metallen, Halbleitern und/oder Oxiden und die Herstellung von Festkörpern mit einer definierten laterale und vertikalen Verteilung von Fremdatomen für neuartige Materialien, die in der Halbleitertechnologie und in der Transparenten Elektronik verwendet werden. Die funktionalisierten Festkörperoberflächen können gegebenenfalls durch die Umverteilung der Fremdatome völlig neuartige magnetische, optische und Transporteigenschaften als die entsprechenden Festkörperoberflächen ohne Fremdatome aufweisen.
申请公布号 DE102011055604(A1) 申请公布日期 2013.05.23
申请号 DE20111055604 申请日期 2011.11.22
申请人 HELMHOLTZ-ZENTRUM DRESDEN - ROSSENDORF E.V. 发明人 BUERGER, DANILO;SCHMIDT, HEIDEMARIE;SKORUPA, ILONA
分类号 H01L21/22;B81B1/00;B82B3/00;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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