NANOSCALE SURFACE STRUCTURE FOR IMPROVING ADHESION

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein poröses, nanostrukturiertes Schichtsystem, umfassend ein Trägermaterial, das ein Substrat aufweist, auf dem optional eine oder mehrere Schichten aufgebracht sein können, auf dem Trägermaterial zumindest eine erste poröse, Spalten aufweisende und durch plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) erhältliche Schicht AL1, die beabstandete, sich nach oben zumindest abschnittsweise verbreiternde Agglomerate umfasst, wobei die poröse, Spalten aufweisende PECVD-Agglomeratschicht AL1 aufgrund der beabstandeten Agglomerate eine mittlere Spaltenbreite im Bereich von 3-500 nm, bestimmt an einer rasterelektronenmikroskopischen Aufnahme in Draufsicht, aufweist.