曝光装置、物体的更换方法、曝光方法、以及元件制造方法

摘要

第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。

主权项

一种曝光装置，藉由能量束使多个物体连续曝光，所述曝光装置包括：保持装置，在藉所述能量束的曝光处理时保持物体，能相对所述能量束移动于与所述物体表面平行的既定面内的至少一方向；第1搬送装置，将所述保持装置上的所述物体从所述保持装置上搬出；以及第2搬送装置，在搬出对象的所述物体一部分位于所述保持装置上的状态下，将另一物体搬入至所述保持装置上。