感光性组合物、感光性树脂转印薄膜和树脂图案

摘要

本发明提供一种用于制作能够耐得住频率高的振动的树脂图案的感光性组合物。本发明的感光性组合物的特征在于，至少含有在侧链具有酸性基的树脂(A)、至少含有化合物B1及化合物B2的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C)、化合物B1及化合物B2的相对聚合性化合物(B)的合计量的含有率W1及W2同时满足式(1)及式(2)。0.6≤W2/W1≤3.0 ····(1) 63％≤W1+W2≤100％ ····(2)化合物B1(X表示氢或H₂C＝CR-CO-，分子中的X的至少4个表示H₂C＝CR-CO-。R表示氢或碳数1～4的烃基。)化合物B2(X表示氢或H₂C＝CR-CO-，分子中的X的至少6个表示H₂C＝CR-CO-。R表示氢或碳数1～4的烃基。)

主权项

1.一种感光性组合物，其特征在于，至少含有在侧链具有酸性基的树脂(A)、至少含有下述化合物B1及化合物B2的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C)，相对聚合性化合物(B)的合计量的该化合物B1及化合物B2的含有率W1质量％及W2质量％同时满足下述式(1)及式(2)，0.6≤W2/W1≤3.0····(1)63％≤W1+W2≤100％····(2)所述在侧链具有酸性基的树脂(A)为在不同的共聚合单元中分别具有x摩尔％的在侧链具有分支及/或脂环结构的结构单元：X、y摩尔％的具有酸性基的结构单元：Y和z摩尔％的具有乙烯性不饱和基的结构单元：Z，且x＝10～70摩尔％、y＝5～70摩尔％、z＝10～70摩尔％的共聚物，所述聚合性化合物(B)的相对树脂(A)的质量比(B)/(A)为0.5～2；化合物B1：其中，X表示氢原子或H₂C＝CR-CO-，分子中的X的至少4个表示H₂C＝CR-CO-，R表示氢原子或碳数1～4的烃基，化合物B2：其中，X表示氢原子或H₂C＝CR-CO-，分子中的X的至少6个表示H₂C＝CR-CO-，R表示氢原子或碳数1～4的烃基。