一种基于复合腔结构的亚微米表面等离激元分束器

摘要

本发明公开了一种基于复合腔结构的亚微米表面等离激元分束器。本发明的表面等离激元分束器包括：金属薄膜；在金属薄膜上设置有穿透金属薄膜上表面和下表面的纳米缝；在纳米缝的一侧设置有纳米沟槽，形成非对称纳米单缝；在纳米沟槽的下方集成金属-介质-金属MIM垂直腔。本发明在分束器的工作波长处，非对称纳米单缝的上半部分形成的FP谐振腔和集成于其中的MIM垂直腔可以几乎独立的操控SPPs。不仅能够实现SPPs分束，更大的优势在于允许方便地调整分束波长，同时不增加横向尺寸，有利于提高集成度，在高集成度等离激元回路中具有潜在应用。本发明结构简单，分束性能好，消光比高，也为其他的表面等离激元功能器件提供了设计思路。

主权项

一种表面等离激元分束器，其特征在于，所述表面等离激元分束器包括：金属薄膜（1）；在金属薄膜（1）上设置有穿透金属薄膜上表面和下表面的纳米缝（2）；在纳米缝的一侧设置有纳米沟槽（3），形成非对称纳米单缝；在纳米沟槽的下方集成金属‑介质‑金属MIM垂直腔（4）。