用于电感耦合等离子体离子源的紧凑RF天线

摘要

本发明公开了一种用于聚焦离子束（FIB）系统的电感耦合等离子体离子源，包括具有原料气输送系统的绝缘等离子体腔，与所述等离子体腔同轴放置并且与所述等离子体腔的外径接近或者与之接触的紧凑射频（RF）天线线圈。在一些实施例中，所述等离子体腔被法拉第屏蔽围绕，以防止天线上的RF电压和等离子体腔内的等离子体之间的电容耦合。使所述高介电强度绝缘管热收缩到用于形成所述天线的导电管或导线的外径上，从而允许对所述天线线圈内的匝的紧密包装。所述绝缘管能够隔离所述天线的不同部分之间以及所述天线和法拉第屏蔽之间的RF电压差。

主权项

一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体离子源，包括：等离子体腔；供气管，用于将原料气引入到所述等离子体腔中；射频天线，被放置在所述等离子体腔周围，包括：     导电材料的线圈；以及     绝缘管，围绕所述导电材料的线圈的外表面并与之接触，其中，所述绝缘管具有大于25kV/mm的介电强度；以及射频电源，其电连接至所述射频天线，并且被配置为向所述天线供电。