超声波探头及使用了其的超声波诊断装置

摘要

本发明的超声波探头，其具有与偏置电压对应改变机电耦合系数或灵敏度的多个振动要件，还具备发射接收超声波的cMUT芯片；设置于所述cMUT芯片上方的音响透镜；设置于所述cMUT芯片下方的背衬层，其中，在所述音响透镜的超声波收发面侧或所述音响透镜与所述cMUT芯片之间具备漏电防止机构。漏电防止机构例如为绝缘层、例如为接地层。利用这种构造的超声波探头，能够提供防止从超声波探头向被检测体漏电，提高了电安全性的超声波探头及使用了其的超声波诊断装置。

主权项

一种超声波探头，其特征在于，具备：发射接收超声波的cMUT芯片，该cMUT芯片具有多个振动要件，所述振动要件具有由上部电极和下部电极构成的被施加偏置电压的电极以及设置在所述上部电极和所述下部电极之间的框体，并且，所述多个振动要件与向所述电极施加的所述偏置电压对应改变机电耦合系数或灵敏度；设置于所述cMUT芯片上方的音响透镜；设置于所述cMUT芯片下方的背衬层；漏电防止机构，其设置在所述音响透镜与所述电极之间，用于防止所述音响透镜破损的情况下从所述电极向被检测体漏电。