集成电路连续性测试方法及集成电路接触电阻的测量方法

摘要

本发明是有关于一种集成电路连续性测试方法及集成电路接触电阻的测量方法，是提供一种集成电路测试的方法，包含提供一集成电路，其包含一静电放电元件，利用该集成电路的两接脚以测量该静电放电元件的一电流值，得以精准计算出该集成电路的接触电阻。该测试方法包含下列步骤：首先，提供一测试元件，其具有一第一接脚，一第二接脚，与一静电放电元件，并将该第二接脚接零参考电位；然后，外加一电压在该测试元件的一第一接脚，以对静电放电元件施加一反向电压以产生一崩溃电流；最后，在一第二接脚与该第一接脚间测量一静电放电元件的一崩溃电流值。藉此，本发明可以对测试元件进行较精准的测量，而可以确保测试元件的品质。

主权项

一种集成电路连续性测试方法，其特征在于其包括以下步骤：提供一测试元件，该测试元件包含一静电放电元件；将该测试元件的一第二接脚接零参考电位；外加一电压于该测试元件的一第一接脚，以对该静电放电元件施加一反向电压以产生一崩溃电流，其中该电压大于该静电放电元件的一临界电压；以及测量该第一接脚及该第二接脚间的该静电放电元件的一崩溃电流值；藉此，在施加该电压至该测试元件后可形成一具有高量测精确度的测试回路，而对测试元件进行较精准的测量，以确保测试元件的品质。