OPTICAL ELEMENT DRIVING APPARATUS, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
<p>경통 유닛 (14c) 내에 아우터링 (21) 이 배치된다. 아우터링에 설치된 구동기구 (25) 는 광학 요소 (M) 를 이동시켜, 광학 요소의 위치와 자세를 조정한다. 진동이 광학 요소에 전파되는 것을 억제하는 댐퍼 기구 (31) 는 아우터링에 장착되어 있다.</p>
